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Une innovation d'Air Liquide Electronique récompensée

27/10/2009
Un précurseur avancé développé par les équipes d'Air Liquide a reçu le prix "IC Industry Award*" lors du salon SEMICON Europe 2009 qui s'est tenu récemment à Dresde (Allemagne).

Pour fabriquer des composants électroniques de plus en plus performants, l’industrie des semi-conducteurs doit sans cesse faire évoluer les matériaux qui les composent.

Parmi ces matériaux, le ruthénium est amené à jouer un rôle prépondérant, notamment dans le domaine du stockage des données informatique et des mémoires.

Le ruthénium est utilisé principalement dans la conception des têtes de lectures de disques durs de nouvelle génération qui utilisent un phénomène physique particulier : la magnétorésistance géante. La découverte récente de ce phénomène a valu à ses inventeurs Albert Fert (France) et Peter Grünberg (Allemagne) le prix Nobel de Physique 2007.

Pour élaborer ces nouvelles têtes de lecture, ainsi que des mémoires et d'autres composants électroniques, les équipes d'Air Liquide ont développé et breveté un nouveau précurseur avancé, ToRuSTM, qui permet de déposer des couches très fines de ruthénium, de seulement quelques atomes. ToRuSTM est aujourd'hui utilisé par plusieurs clients du Groupe.

Lors de l'édition 2009 du salon SEMICON Europe, 25 000 professionnels de l'industrie électronique mondiale ont voté et attribué à ToRuSTM le prix du meilleur "Enabling Material" qui récompense une invention permettant une avancée majeure dans la fabrication des composants électroniques.

L’activité électronique d’Air Liquide a enregistré un chiffre d’affaires de 1 044 millions d’euros en 2008. Ses ventes portent essentiellement sur des gaz ultra purs, des gaz spéciaux, de nouvelles molécules, des équipements de mise en oeuvre de ces produits et des services personnalisés.

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