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Equipements [ Retour vers Semi-conducteurs]

La mise en oeuvre des gaz dans votre secteur d'activité implique les équipements suivants, optimisés par Air Liquide et ses partenaires.

Destruction des PFC

Un système universel d'abattement par plasma pour le traitement au point d'utilisation de vos procédés de gravure ... Le meilleur outil écologique pour réduire les PFC à un niveau acceptable pour l'environnement. Domaines d'application : SF6, C4F8, CHF3, C3F8, C2F6, NF3, CF4, etc ...

CANDI : Equipements pour les Gaz Précurseurs

Un fonctionnement sûr et efficace Le système CANDI est conçu pour faciliter l'exploitation et la maintenance, grâce à un automate de pointe qui assure une gestion entièrement automatisée des processus.

Gas Cabinets

Pour s'adapter à vos spécifications en termes de qualité du gaz, de fiabilité et de sécurité, AIR LIQUIDE propose une gamme complète d'armoires à gaz, les FabStream™.

Equipements pour les Liquides Chimiques

Débit élevé pour les corrosifs et les solvants de haute pureté

Pour satisfaire vos exigences en matière de pureté et de débit d'écoulement concernant les produits corrosifs et les solvants au point d'utilisation, Air Liquide vous recommande FabChem™ BCDS-PG, qui utilise une technologie à gradient de pression développée par Air Liquide afin de distribuer les produits chimiques par pression d'azote.

Ingénierie des Gaz

AIR LIQUIDE Technologies Avancées (DTA) fournit des purificateurs de gaz de haute qualité et équipements d'analyse associés.

Semi-conducteurs

AIR LIQUIDE  au coeur de votre procédé. Pour plus d’information reportez vous à la légende de l’image située sur la droite de votre écran.

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