CANDI : Equipements pour les Gaz Précurseurs  [ Retour vers  Equipements  ]

Des engagements spécifiques concernant la sécurité y ont été inclus afin de protéger l'opérateur et de garantir l'intégrité de l'installation. Le système CANDI est entièrement équipé, avec une multitude de fonctions de sécurité employant les dernières technologies : capteurs de fuite redondants, soupapes de sécurité, système de détection d'ouverture de porte, système de détection de gaz et gicleurs d'incendie (tous deux en option) etc ... Totalement conforme aux réglementations internationales, le système CANDI est certifié SEMI S2 et a subi les tests CEM, effectués par un tiers, et il possède le label CE. La maintenance est plus rapide grâce au fait que tous les composants soient facilement accessibles en ouvrant la porte avant. Pour simplifier encore plus les choses, des opérations de maintenance standard sont programmées dans l'ordinateur logique programmable et peuvent être initiées via l'écran tactile. Un boîtier bien conçu, personnalisé en fonction de vos demandes

Une technologie de distribution novatrice

La technologie de distribution novatrice développée par AIR LIQUIDE fait de cet équipement le premier choix en matière de performance. Des fonctions particulières de hautes technologies, ont été mises en œuvre afin de garantir la qualité chimique à la sortie du système CANDI.

Une technologie de distribution à pression d'hélium sert à introduire les produits chimiques dans les lignes de production et à remplir le réservoir journalier à partir du bidon navette. Comme la distribution n'est pas interrompue par le changement de bidon, la pression de distribution demeure constante, indépendamment de la vitesse de consommation du liquide.

Grâce à un système de purge sophistiqué, le liquide à purger est vaporisé en établissant un vide inférieur à sa pression de vapeur. On parvient à une vaporisation encore plus efficace en chauffant le collecteur du bidon navette. Avant et après chaque changement de bidon, on exécute des cycles de pression et de vide, ce qui permet d'assurer la sécurité de l'exploitation et l'absence de toute contamination.

Diverses options sont disponibles, dont notamment le module de dégazage, utilisé pour le retrait de l'He dissous dans les précurseurs liquides.

• Une alimentation en liquide à haute fiabilité

Grâce à ses outils de traitement ultra modernes, cet équipement est spécifiquement conçu pour la distribution de liquides chimiques, accompagnée d'une garantie totale des paramètres de traitement requis.

Le système possède un temps de bon fonctionnement élevé en ce qui concerne la distribution de produits chimiques liquides. Son vaste éventail d'instruments, en parallèle à la configuration précise de l'ordinateur logique programmable, permet au système CANDI d'opérer en modes de secours.

La gestion entièrement automatisée des processus minimise la formation de bulles et contrôle le niveau de liquide, ainsi que la pression d'alimentation. Ce processus est largement utilisé sur des produits chimiques liquides comme le TEOS, le TEB, le TEPO et le TiCl4.

• Une solution pour de fortes consommations :
le système CANDI Vrac

Pour satisfaire vos besoins en produits chimiques à débit élevé au point d'utilisation, AIR LIQUIDE vous recommande son système CANDI Vrac.

Grâce à notre technologie de distribution à gradient de pression brevetée, le CANDI Vrac introduit les produits chimiques dans les lignes de production à partir de cuves à faible pression montées dans le distributeur. Ces cuves sont remplies tour à tour à partir du réservoir journalier sous pression. La spécificité de cette configuration permet d'employer plusieurs modes décomposés automatiques tout en disposant d'un faible volume de produit chimique sous pression.

Notre technologie de distribution avancée possède également son propre système expert intégré, qui diagnostique les défaillances des composants et lance des modes de secours automatiques. En conséquence, le système CANDI Vrac peut assurer l'approvisionnement de 40 outils avec un temps de bon fonctionnement optimal.