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Destruction des PFC  [ Retour vers  Equipements  ]

Un système universel d'abattement par plasma pour le traitement au point d'utilisation de vos procédés de gravure ... Le meilleur outil écologique pour réduire les PFC à un niveau acceptable pour l'environnement. Domaines d'application : SF6, C4F8, CHF3, C3F8, C2F6, NF3, CF4, etc ...

• Un abattement des PFC hautement efficace

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• 99,5 % pour la plupart des PFC, même à des hauts débits
• Plasma à pression atmosphérique : une large impédance permettant de répondre aux caractéristiques et aux changements ou variations de sensibilité des procédés. D'excellentes caractéristiques d'accord (durée de résidence du gaz / longueur - puissance de la colonne de plasma)
• Optimisation du plasma pour une chimie hors équilibre afin de permettre une destruction effective des PFC sans les produits typiques indésirables issus d'une réaction à haute température comme les NOx, etc ...



• De faibles coûts d'exploitation

• Exigences en services généraux minimales : électricité et air
• Aucun besoin en combustible ou catalyseur
• Faible maintenance : excellente fiabilité du tube à décharge diélectrique et du fluide de refroidissement diélectrique
• Eau de refroidissement réutilisable

 


• Une intégration sans souci

• Une petite surface
• Système en aval de la pompe : pas d'interférence avec le processus (au cours de l'exploitation et / ou de la maintenance) ; fiabilité générale élevée : pas de risque pour la turbopompe et pas de produits dérivés corrosifs dans la pompe désamorcée
• Faible perte de charge (moins de 30 mbars - 100 slm) - pas d'impact sur le système de pompage
• Système de By-Pass : le débit passe directement de la pompe désamorcée au collecteur de rejets si nécessaire (maintenance de la pompe, etc ...)

 


• Conception modulaire

• Jusqu'à 120 litres/ min (débit d'écoulement total)
• Conception à tubes de plasma multiples pour détruire davantage de PFC, en option



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