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Équipement
et installations

Fiabilité et sécurité au cœur de l’ingénierie des gaz dans la Fab

Les industriels du secteur électronique ont besoin d'équipements et d'installations de pointe pour accompagner leurs procédés et pour fournir, stocker, mettre en œuvre et utiliser les matériaux électroniques (aussi appelés molécules-précurseurs) de la façon la mieux adaptée. Expert en production et en fourniture de gaz, produits chimiques et précurseurs liquides pour l'industrie électronique, Air Liquide propose les équipements adéquats tout en garantissant une sécurité totale, une fiabilité maximale et un contrôle global optimisé.

10 000

armoires à gaz installées par Air Liquide

500

systèmes de distribution de précurseurs installés

10 000

systèmes de gestion chimique mis en place

Des milliers d'équipements livrés et installés à travers le monde

Pour les fabricants de semi-conducteurs, de cellules photovoltaïques et d’écrans plats, la sécurité et la fiabilité d'approvisionnement des fluides sont essentielles.

Grâce à notre savoir-faire en matière de livraison de systèmes de distribution (armoires à gaz, coffrets à vannes, systèmes de mélange et de distribution de produits chimiques et de résidus) et de systèmes de traitement des émissions, nous garantissons la sécurité, la propreté et l'efficacité des procédés de nos clients.

Nous concevons et installons ces équipements sur les sites de fabrication. Nous contribuons également à l'installation clé en main de réseaux de distribution de produits chimiques et de gaz ultra-purs. Nous proposons enfin des systèmes centralisés de contrôle et de surveillance.

Six sites de fabrication d'équipements sont situés à proximité des usines de nos clients

À ce jour, nous avons livré et installé, à travers le monde, plus de 10 000 armoires à gaz, 10 000 systèmes de gestion des produits chimiques, 500 systèmes de distribution de précurseurs, 100 épurateurs cryogéniques en vrac et 50 systèmes de contrôle à distance de la qualité.

Nos 6 sites de fabrication d'équipements et nos équipes d'installation sont implantés à des endroits stratégiques du globe, à proximité des usines de fabrication de semi-conducteurs, de cellules photovoltaïques et d'écrans plats.

Focus

Innovations pour la fourniture de matériaux électroniques

Nous mettons à disposition de nos clients des équipements et des solutions d'ingénierie clé en main destinés aux systèmes d’épuration et de distribution de produits chimiques et de gaz.

En savoir plus
  • armoires à gaz FabStream™ pour la fourniture automatisée et calibrée de matériaux de spécialité en bouteille
  • armoires à gaz FabStream™ AVP (toute phase vapeur), dont la  technologie brevetée garantit à 100 % l’acheminement de la phase vapeur des matériaux de spécialité liquéfiés au débit souhaité
  • système d'approvisionnement en vrac FabStream™ pour une distribution à très haut débit, entièrement automatisée et calibrée, de matériaux électroniques de spécialité comme le chlorure d'hydrogène, le silane et le protoxyde d'azote
  • armoires à gaz SaFlow™ pour une distribution optimisée des matériaux électroniques de spécialité en bouteille 
  • SaFlow™ HI pour une distribution optimisée des matériaux électroniques de spécialité en réservoirs et en cadres 
  • les équipements de distribution de précurseurs liquides CANDI™ et AQUARIUS™, conçus pour une utilisation et une maintenance simplifiées
  • ChemFlex™ pour la distribution de produits chimiques à base d'eau et de solvants à partir d'une plateforme modulable et extrêmement fiable
  • ChemFlex™ CMP pour le mélange précis et la distribution automatisée des résidus de polissage chimico-mécanique
  • ChemPrep™ pour le mélange précis de produits chimiques très purs
  • épurateurs cryogéniques en vrac ULTRAL™ (azote, hydrogène, hélium, argon)
  • systèmes de contrôle à distance CQC™ et APIX™ CQ pour le contrôle en continu et en ligne de la pureté des gaz vecteurs
  • DETOXAL™, disponible au Japon, pour l’élimination directe des gaz au point de purge dans les systèmes de distribution
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Une révolution nano dans nos smartphones

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